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Markus Stöhr richtet das Spannungsoptik-Messgerät für die Prüfung eines Siliziumwafers ein. Polarisiertes Licht leuchtet von unten durch das Silizium, das darüber positionierte Objektiv zeichnet die Änderung der Polarisation des Lichtstrahls auf. Daraus lassen sich mechanische Spannungen im Material berechnen.
Markus Stöhr richtet das Spannungsoptik-Messgerät für die Prüfung eines Siliziumwafers ein. Polarisiertes Licht leuchtet von unten durch das Silizium, das darüber positionierte Objektiv zeichnet die Änderung der Polarisation des Lichtstrahls auf. Daraus lassen sich mechanische Spannungen im Material berechnen. (Foto: Lizette Ardelean)
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Defekte in Mikrochips sichtbar machen

Markus Stöhr für Weiterentwicklung eines Messverfahrens für Halbleitermaterialien wie Silizium auf Sensorik-Fachtagung mit Posterpreis ausgezeichnet

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